第57章 我们就走这条路

NBL的电子束光刻机，直写的速率一样很慢，究竟上目前市道上出售的统统电子束光刻机，直写速率都极慢。

坦白的讲，陈飞不晓得他们是如何完成此项豪举的。

小米做手机芯片，愣是不敢直接上16nm，就是怕流片失利。

他说道：“传授，电子束光刻机才是关头啊。”

事情终究有了端倪，陈飞略微松了口气。

但是RB的速率，是1分钟1片，只比浅显光刻略微多了一点，实在太快了，让人不敢信赖誉的是电子束。这也是独一冲突的处所。

陈飞看着全息影象中的迷你晶圆厂运转，不得不赞叹，这个构思实在太奇妙了。

这项技术，是真正的弯道超车。

目前统统的题目，都集合在电子束光刻机身上。

如果RB人真的如此做，那么在接下来的合作中，他们的反攻将会非常凌厉。

为甚么厂房只需求一个足球场就够了，因为工序少，设备也就少，同时也就不需求无尘室；

连学志笑道：“不是不消光罩，而是组合反复利用，将光罩作为牢固投资，而不是耗材。”

连学志说道：“电子束的工艺开辟，比起光刻来讲，轻易很多。不过设备这一块，我就不可了。”

苹果财大气粗，能够流片2，3次，然后选出最好的定型。

陈飞冲动不已，跟着他又想起一个题目来：“不晓得用电子束，能不能达到10nm工艺。”

不过陈飞不想穷究这个题目，还是那句话，不管RB用的究竟是甚么技术，他已经决定用电子束！

连学志有些矜持地说道：“我在IBM的时候，做过2nm的器件，当然只要几十个晶体管了，主如果摸索工艺。”

光罩海内也有人叫它掩膜版，在目前统统晶圆厂中，包含intel，台积电，中芯等，都是作为耗材利用的。

陈飞俄然笑了，果断地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！传授，我需求一支完整的芯片工艺开辟团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”

波是非，就更轻易开辟出先进制程。

陈飞诚心肠问道：“多谢连传授指导，我另有一个迷惑，就是无尘室。晶圆厂的无尘室，仿佛不是纯真为了包管晶圆不受灰尘滋扰，同时也是为了包管良率。不消无尘室，良率会不会出题目？”

并且在制程上，能够中转3nm！

为甚么一次只出产一块0.5寸的单芯片，因为是电子束，哪怕是12寸晶圆，它也得一个一个去刻。以是没需求用12寸，0.5寸单芯片就充足了。

连学志神采也严厉起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一向只能在尝试室中利用。RB人的数据却分歧，他们的速率，起码是1分钟1片的速率，太夸大了，我不晓得他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”

只见影象中，芯片设想公司，将设想图交给晶圆厂，然后晶圆厂阐发设想图，再从光罩库中，挑选光罩单位，将它们拼接在一起，构成了一张残破的图形。

是极慢！不是慢。比起光刻来，需求的时候，多了起码一百倍。

当然，真正的出产不会如此简朴，不过大抵的过程就是如此了。

每一款芯片，都必须为它制作一组光罩组。哪怕它们没有破坏，到了下一款芯片，这些光罩组，都不能利用了，必须为新芯片制作新的光罩。

他冲动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新清算清楚。

哪怕花掉身上统统的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研讨出来。

陈飞终究把大抵的题目想通了。

然后电子束用纳米套刻的体例，将模板图形套刻在晶圆上，以后电子束再逐点扫描，将图形补全。

连学志点头道：“陈飞，你的了解大抵没错。”

题目主如果，如果真的做出来如何解释？他不成能同时精通那么多范畴，会被人思疑的。

他操纵了一会，用全息影象的体例，将思路揭示出来。

为甚么不需求分外光罩，因为用的是能够反复利用的光罩库。

以是，不要抱怨芯片设想保守，不保守不可。

陈飞躬身道：“那就奉求您了。”

有个好动静就是，海内目前有顶尖的电子束光刻机设备商，固然是收买来的。

因为比拟起其别人，他的最大上风，就是掌控电子和原子的才气。

比如华为麒麟950，流片和出产的时候，用了一组光罩；比及麒麟960的时候，很多设想实在是不异的，但是老的光罩一点都不能用了，必须全换新的。这些本钱全数由华为承担。

陈飞直接跳了起来，要不是连学志就在面前，要保持形象，他直接想爆粗口了。

跟着工艺的晋升，光罩的用度也在飞速增加，从几百万美圆，到上千万美圆，在新工艺的初期，代价乃至会达到上亿美圆。

说到前面，连学志竟然自我思疑起来。

但是换作其他芯片厂，失利一次就元气大伤，失利两次差未几就要停业了。

陈飞来回巡查着，终究将目光逗留在电子束光刻机上。

光刻部分，就完成了！

不过也不需求体味，只要能买到设备就行了。

迷你晶圆厂就没有这些题目了，光罩在这里是作为牢固资产，而不是耗材，流片的本钱，刹时会骤降！

连学志笑道：“浅显的晶圆厂，需求用无尘室，主如果因为他们的工序太多了，差未几有200到300道工序。但是用电子束，20道摆布便能够了。无尘室在这里不是关头。”

博康收买了英国NBL电子束光刻机，并且把出产线搬到了海内。

一条清楚的头绪刹时贯穿。

一样的，如果陈飞把握了这项技术，那么在制程合作中，就会敏捷反超。EUV的波长很短，只要13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！